1. YÜKSEK LİSANS
  2. FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ
  3. ELEKTRİK - ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI
  4. 1181 ELEKTRİK - ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ
Ders Bilgileri Ders Öğrenme Kazanımları Dersin Program Yeterlilikerine Katkısı AKTS / İş Yükü Tablosu Ders Şubeleri
Yazdır

DERS BİLGİLERİ
Ders KodDers AdT+U SaatYarıyılAKTS
ELK 594MİKROELEKTROMEKANİK SİSTEMLERE GİRİŞ3 + 01. Yarıyıl7,5

DERS TANIMI
Ders Düzeyi Yüksek Lisans
Ders Türü Seçmeli
Dersin Amacı Silisyum’un mikro seviyede işlenmesini sağlayan Mikroelektromekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi küçük, portatif, dayanıklı ve düşük maliyetli duyarga sistemleri geliştirilmesi için umut vadeden çözümler ortaya koymaktadır. Günümüzde, MEMS teknolojisi, otomotiv, biyomedikal, telekomünikasyon, tüketici elektroniği gibi uygulamalardan askeri uygulamalara kadar uzanan geniş bir uygulama alanına sahiptir. Bu dersin amaçları Mikroelektromekanik Sistemlerin (MEMS) tanıtılması, mikro yapı tasarım ve üretim yöntemleri, farklı tip MEMS duyargaları ve onların algılama mekanizmalarının hakkında genel bilgilerin verilmesidir.
Ders İçeriği Silisyum (Si) elementinin özelliklerinin tanıtılması, Silisyum aşındırma yöntemleri, fotolitografi, ince film kaplama metotları, gövde ve yüzey mikro işleme yöntemleri, mikro yapı üretim süreçleri ve duyarga algılama mekanizmaları
Ders Ön Koşul Dersin ön koşulu yok.
Ders Yan Koşul Dersin yan koşulu yok.
Öğretim Sistemi Yüz Yüze

DERS ÖĞRENME KAZANIMLARI
1Öğrenciler MEMS teknolojisi ile ilgili temel kavramları bilir.
2Öğrenciler MEMS teknolojisinde kullanılan üretim yöntemlerini bilir.
3Öğrenciler MEMS duyargaların çalışma prensiplerini ve farklı tip algılama mekanizmalarını bilir.

DERS ÖĞRENME KAZANIMININ PROGRAM YETERLİLİKLERİNE KATKISI
NoPY 01PY 02PY 03PY 04PY 05PY 06PY 07PY 08PY 09PY 10PY 11
ÖK 001           
ÖK 002           
ÖK 003           
Ara Toplam           
Katkı00000000000

AKTS / İŞ YÜKÜ TABLOSU
EtkinlikSayısıSüresi (Saat)Toplam İş Yükü (Saat)
Ders Süresi(14 hafta/teorik+uygulama)14342
Sınıf Dışı Ders Çalışma Süresi(Ön çalışma, pekiştirme)14570
Ödevler11515
Arasınavlar(hazırlık süresi dahil)12323
Yarıyıl Sonu Sınavı(hazırlık süresi dahil)13030
Sunum / Seminer (hazırlık süresi dahil)11515
Toplam İş Yükü

Dersin AKTS Kredisi





195

7,5
DERS ŞUBELERİ
 Dönem seçiniz :   


 Ders DönemiŞube NoDersi Veren Öğretim Elemanı
Detay 2023-2024 Güz1SERDAR TEZ


Yazdır

Ders Şube Detayları
Dersin Kodu Dersin Ad Saat (T+P) Şube No Öğretim Dili Şube Dönemi
ELK 594 MİKROELEKTROMEKANİK SİSTEMLERE GİRİŞ 3 + 0 1 Türkçe 2023-2024 Güz
Öğretim Elemanı  E-Posta  İç Hat  Ders Yeri Devam Zorunluluğu
Dr. Öğr. Üyesi SERDAR TEZ stez@pau.edu.tr MUH A0497 Dersin Devam Yüzdesi : %
Amaç Silisyum’un mikro seviyede işlenmesini sağlayan Mikroelektromekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi küçük, portatif, dayanıklı ve düşük maliyetli duyarga sistemleri geliştirilmesi için umut vadeden çözümler ortaya koymaktadır. Günümüzde, MEMS teknolojisi, otomotiv, biyomedikal, telekomünikasyon, tüketici elektroniği gibi uygulamalardan askeri uygulamalara kadar uzanan geniş bir uygulama alanına sahiptir. Bu dersin amaçları Mikroelektromekanik Sistemlerin (MEMS) tanıtılması, mikro yapı tasarım ve üretim yöntemleri, farklı tip MEMS duyargaları ve onların algılama mekanizmalarının hakkında genel bilgilerin verilmesidir.
İçerik Silisyum (Si) elementinin özelliklerinin tanıtılması, Silisyum aşındırma yöntemleri, fotolitografi, ince film kaplama metotları, gövde ve yüzey mikro işleme yöntemleri, mikro yapı üretim süreçleri ve duyarga algılama mekanizmaları
Haftalık Konu Başlıkları
Materyaller
Materyal belirtilmemiştir.
Kaynaklar
Ders Değerlendirme Sistemi
Değerlendirme YöntemiKatkı Yüzdesi (%)Değerlendirme Yöntemi Ad
Dönem Sonu Sınavı50Dönem Sonu Sınavı
Ara Sınav50Ara Sınav
T+U : Teorik + Pratik
PY: Program Yeterlilikleri
ÖK: Ders Öğrenme Kazanımları