Yazdır

DERS BİLGİLERİ
Ders KodDers AdT+U SaatYarıyılAKTS
ELK 594MİKROELEKTROMEKANİK SİSTEMLERE GİRİŞ3 + 02. Yarıyıl7,5

DERS TANIMI
Ders Düzeyi Doktora
Ders Türü Seçmeli
Dersin Amacı Silisyum’un mikro seviyede işlenmesini sağlayan Mikroelektromekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi küçük, portatif, dayanıklı ve düşük maliyetli duyarga sistemleri geliştirilmesi için umut vadeden çözümler ortaya koymaktadır. Günümüzde, MEMS teknolojisi, otomotiv, biyomedikal, telekomünikasyon, tüketici elektroniği gibi uygulamalardan askeri uygulamalara kadar uzanan geniş bir uygulama alanına sahiptir. Bu dersin amaçları Mikroelektromekanik Sistemlerin (MEMS) tanıtılması, mikro yapı tasarım ve üretim yöntemleri, farklı tip MEMS duyargaları ve onların algılama mekanizmalarının hakkında genel bilgilerin verilmesidir.
Ders İçeriği Silisyum (Si) elementinin özelliklerinin tanıtılması, Silisyum aşındırma yöntemleri, fotolitografi, ince film kaplama metotları, gövde ve yüzey mikro işleme yöntemleri, mikro yapı üretim süreçleri ve duyarga algılama mekanizmaları
Ders Ön Koşul Dersin ön koşulu yok.
Ders Yan Koşul Dersin yan koşulu yok.
Öğretim Sistemi Yüz Yüze

DERS ÖĞRENME KAZANIMLARI
1Öğrenciler MEMS teknolojisi ile ilgili temel kavramları bilir.
2Öğrenciler MEMS teknolojisinde kullanılan üretim yöntemlerini bilir.
3Öğrenciler MEMS duyargaların çalışma prensiplerini ve farklı tip algılama mekanizmalarını bilir.

DERS ÖĞRENME KAZANIMININ PROGRAM YETERLİLİKLERİNE KATKISI
Derslerin program öğrenme kazanımına katkısı girilmemiş.

AKTS / İŞ YÜKÜ TABLOSU
EtkinlikSayısıSüresi (Saat)Toplam İş Yükü (Saat)
Ders Süresi(14 hafta/teorik+uygulama)14342
Arasınavlar(hazırlık süresi dahil)15656
Yarıyıl Sonu Sınavı(hazırlık süresi dahil)15656
Özel Çalışma Modülü (Öğrenci)14141
Toplam İş Yükü

Dersin AKTS Kredisi






195

7,5
DERS ŞUBELERİ
 Dönem seçiniz :   


Seçili dönemde ders açılmamıştır.


Yazdır

T+U : Teorik + Pratik
PY: Program Yeterlilikleri
ÖK: Ders Öğrenme Kazanımları